南大光电:现阶段主要专注于ArF和KrF光刻胶研发和产业化,未有EUV光刻胶研发计划

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南大光电:现阶段主要专注于ArF和KrF光刻胶研发和产业化,未有EUV光刻胶研发计划
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(来源:财闻)

10月19日,南大光电(300346.SZ)在互动平台表示,公司现阶段主要专注于ArF和KrF光刻胶的研发和产业化,未有关于EUV光刻胶的研发计划。